في التصنيع الخلفي لأشباه الموصلات، الدقة ومعدل الإنتاجية هما كل شيء. كانت إحدى المنشآت الرائدة في مجال تجميع وتغليف الإلكترونيات الدقيقة تعاني من مشاكل التشققات الدقيقة والذبابة أثناء عملية تقطيع الرقاقات إلى مكعبات. كان السبب هو نظام الأشعة فوق البنفسجية الزئبقي الذي عفا عليه الزمن والذي يوفر معالجة غير موحدة وضغطًا حراريًا مفرطًا على أشرطة التقطيع فوق البنفسجية الرقيقة للغاية.

لقد تعاونوا معنا لدمج أحدث ما لدينانظام معالجة LED للأشعة فوق البنفسجية من فئة أشباه الموصلات. أدت الترقية إلى أمعدل عائد تقطيع الويفر 99.98%، تشوه حراري صفر على الرقائق الرقيقة، وانخفاض كبير في وقت الدورة.

يقوم العميل بمعالجة رقائق السيليكون مقاس 8 بوصة و12 بوصة بسماكة أقل من 100 ميكرومتر. أثناء عملية تقطيع الرقاقة (النشر/التقطيع الخفي)،شريط تقطيع للأشعة فوق البنفسجيةيتم تطبيقه لتأمين الرقائق على الإطار. بعد التقطيع، يجب تعريض الشريط للأشعة فوق البنفسجية الدقيقة لتقليل التصاقه، مما يسمح بالتقاط القوالب الرقيقة بشكل نظيف دون أي بقايا لاصقة أو تلف هيكلي.

لقد أدى إعداد مصباح الزئبق التقليدي إلى خلق حواجز خطيرة على الطريق:

• الإشعاع الحراري العالي:تولد مصابيح الزئبق حرارة شديدة من الأشعة تحت الحمراء (IR)، مما يتسبب في تشوه الرقائق الرقيقة وتحلل شريط الأشعة فوق البنفسجية أو ذوبانه قبل الأوان.

• الإشعاع غير الموحد:التوزيع غير المتساوي للأشعة فوق البنفسجية يعني أن بعض مناطق الشريط ظلت شديدة الالتصاق، مما يؤدي إلى تشقق القوالب أو "ذبابة القالب" أثناء مرحلة الالتقاط والمكان الآلي.

• استبدال المصباح المتكرر:تتحلل مصابيح الزئبق القياسية بسرعة، مما يتسبب في جرعات غير مستقرة من الأشعة فوق البنفسجية التي تتطلب إعادة معايرة مستمرة وإيقاف الإنتاج.

للوفاء بالتحكم الصارم في التلوث وحدود درجة الحرارة لغرفة الأبحاث من الفئة 100، قام فريقنا الهندسي بتطبيق عاداتنانظام معالجة LED بالأشعة فوق البنفسجية لأشباه الموصلات المبردة بالماء (طول موجة 365 نانومتر، كثافة قابلة للتعديل تصل إلى 15 وات/سم^2).

[تثبيت الرقاقة على شريط الأشعة فوق البنفسجية] ➔ [التقطيع/النشر الدقيق] ➔ [تعريض فوري للأشعة فوق البنفسجية الباردة LED (365 نانومتر)] ➔ [التقاط قالب نظيف وخالي من أي بقايا]

قدم نظامنا المتخصص لأشعة فوق البنفسجية LED لأشباه الموصلات ترقيات تقنية فورية:

• • المعالجة الباردة الحقيقية (درجة حرارة الركيزة <30 درجة مئوية):من خلال التخلص تمامًا من الأطوال الموجية للأشعة تحت الحمراء، يحمي نظام UV LED الخاص بنا أنحف بنيات السيليكون وإطارات الرقاقات الحساسة لدرجة الحرارة من التشوه الحراري.

  • التوحيد البصري لا تشوبه شائبة:باستخدام بصريات الكوارتز المصممة خصيصًا، يوفر النظام مجالًا موحدًا للأشعة فوق البنفسجية بنسبة تزيد عن 95% عبر منطقة التعرض مقاس 12 بوصة بالكامل. وهذا يضمن تقليل الالتصاق بشكل متسق تمامًا عبر كل قالب على الشريط.

  • التبريد السائل المتوافق مع غرف الأبحاث:يمنع التصميم المحكم الإغلاق والمبرد بالماء حدوث اضطرابات هوائية وتوليد الجسيمات، مما يجعله متوافقًا تمامًا مع معايير غرف الأبحاث الصارمة.

إن الانتقال إلى نظام المعالجة بالأشعة فوق البنفسجية LED الصناعي الخاص بنا قد أعاد تعريف كفاءة التجميع الخلفي للعميل:

• 99.98% عائد للتقطيع:حقق التقاط القالب النظيف عدم وجود أي بقايا لاصقة والقضاء على التشققات الدقيقة الميكانيكية عبر جميع دفعات الإنتاج.

• معالجة فورية وإنتاجية أعلى:لا حاجة لدورات الاحماء أو التبريد. يوفر النظام جرعة كاملة من الأشعة فوق البنفسجية على الفور، مما يقلل من وقت دورة تشعيع الشريط45%.

• استقرار لا مثيل له وطول العمر:مع عمر يتجاوز20,000 ساعة، يوفر نظام UV LED كثافة متطابقة للأشعة فوق البنفسجية شهرًا بعد شهر، مما يمنع حدوث انخفاضات غير متوقعة في الإنتاجية.

تعليقات مدير المصنع: "لقد أدت الترقية إلى نظام UV LED الصناعي هذا إلى حل مشكلات تزييف الرقاقات التي طال أمدها. أصبح تقليل الالتصاق موحدًا تمامًا، وقد وصل إنتاجنا في الانتقاء والمكان إلى ذروته، وانخفض وقت توقف الصيانة فعليًا إلى الصفر."

قم بتمكين خط تجميع أشباه الموصلات لديك

هل تتطلع إلى القضاء على التشققات الدقيقة، وتأمين إطلاق شريط الأشعة فوق البنفسجية بدقة، وحماية الرقائق الهشة من الإجهاد الحراري؟ كن شريكًا مباشرًا مع شركة تصنيع معالجة بالأشعة فوق البنفسجية ذات خبرة. يقوم فريقنا الهندسي بتصميم حلول UV LED مخصصة عالية الاتساق تم تكوينها وفقًا لمواصفات غرف الأبحاث وخطوط الأتمتة الخاصة بك.

• [استكشف حلولنا للأشعة فوق البنفسجية LED لأشباه الموصلات والرقاقات]